Vor allem in der Oberflächenbearbeitung werden durch Plasma neue Wege erschlossen, denn das Teilchengemisch eignet sich sowohl dafür, Material auf atomarer Ebene abzuscheiden, als auch einzulagern. Anders als bei herkömmlichen Methoden wird das aufgetragene Element nicht nur oberflächlich abgelagert, sondern bis zu einigen Millimetern in das Bauteil hinein diffundiert. Dies verhindert, dass die schützende Schicht abblättern kann, auch Eierschalen-Effekt genannt.
Durch dieses Verfahren ist es möglich, mikroskopische Verunreinigungen und Defekte von Wafern (dünne Scheibe aus Halbleitermaterial, auf die integrierte Schaltungen aufgebracht werden) zu korrigieren und somit die Ausbeute in der Chip- und Halbleiterproduktion zu maximieren. Auch lassen sich Bauteile wie Werkzeuge, die starkem Verschleiß ausgesetzt sind, gegen diesen zu einem bisher unerreichten Maß resistent machen.
Damit dieser Prozess jedoch effizient angewendet werden kann, ist ein perfektes Zusammenspiel von Präzision und Leistung nötig. Je nach Material sind zwischen 350 °C und 900 °C sowie ein starker Unterdruck in den Anlagen nötig, um Oberflächen zu härten oder Verunreinigungen und Defekte zu korrigieren. Dennoch ist das Verfahren ressourcensparender und genauer als die herkömmliche Behandlung mit Pulver.
Die Sparte Meteology and Plasma Solutions der PVA Tepla AG hat sich auf die Herstellung von Anlagen zur Plasma-Diffusion (abtragen) und zum Plasma-Nitrierten (auftragen) spezialisiert. Mithilfe ihrer Systeme lassen sich sowohl winzige Oberflächendefekte entfernen, als auch neue Beschichtungen auftragen. Dabei stellt auch die Komplexität des Bauteils kein Hindernis dar, da das Plasma das gesamte Werkstück umschließt.
Die Einsatzmöglichkeiten von Plasma-Diffusionsbehandlung stellt dabei sowohl eine innovative als auch wirtschaftliche Methode zur Oberflächenbehandlung von unerreichter Präzision und Qualität dar. Ihr Anwendungsbereich ist dabei noch lange nicht ausgeschöpft. So können durch den Prozess komplexe Bauteile mit vergleichsweise geringem Energie- und Gas-Verbrauch genauestens behandelt werden, was ihn unter anderem auch für Luft und Raumfahrt lukrativ macht.
